1. Handbook of silicon based MEMS materials & technologies
پدیدآورنده: by Veikko Lindroos ... ]et al.[
کتابخانه: کتابخانه مرکزی و مرکز اطلاع رسانی دانشگاه فردوسی مشهد (خراسان رضوی)
موضوع: ، Microelectromechanical systems,Materials ، Microelectromechanical systems,Electric properties ، Silicon
رده :
TK
7872
.
H35
2010